ជួរបូមធូលីធម្មតារបស់ម៉ាស៊ីនសម្ងួតបូមធូលី ជាធម្មតាមានចន្លោះពី 10 Pa និង 1000 Pa ជាមួយនឹងតម្លៃជាក់លាក់ដែលរងឥទ្ធិពលដោយលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈ និងបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការ។ ជួរបូមធូលីនេះមានប្រយោជន៍សម្រាប់ការបង្កើនល្បឿននៃអត្រា sublimation និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពស្ងួត។
កម្រិតសុញ្ញកាសនៃម៉ាស៊ីនសម្ងួតខ្យល់ សំដៅទៅលើកម្រិតដែលសម្ពាធឧស្ម័នខាងក្នុងទាបជាងសម្ពាធបរិយាកាសខាងក្រៅ។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនេះគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ប្រតិបត្តិការធម្មតានៃឧបករណ៍និងប្រសិទ្ធភាពស្ងួត។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ មិនមានតម្លៃថេរ និងឯកសណ្ឋានសម្រាប់កម្រិតទំនេរធម្មតារបស់ម៉ាស៊ីនសម្ងួតត្រជាក់នោះទេ ព្រោះវាត្រូវបានប៉ះពាល់ដោយកត្តាផ្សេងៗ រួមទាំងប្រភេទ លក្ខណៈបច្ចេកទេស កម្មវិធី និងលក្ខខណ្ឌប្រតិបត្តិការរបស់ឧបករណ៍។
